Форвакуумные откачные посты ForHiVac
Форвакуумные откачные посты на базе вакуумных насосов РУТС используются в промышленных целях (в том числе для химических производств), а также для различных исследований. Перечень самых распространенных применений выглядит так:
- металлургические процессы;
- сушильные процессы;
- вакуумная термообработка;
- дегазация материалов;
- вакуумное напыление при изготовлении полупроводников и солнечных батарей;
- нанесение вакуумных покрытий (декоративного, упрочняющего либо оптического назначения).
Форвакуумные откачные посты ForHiVac позволяют достигать предельные остаточные давления до уровня в 10-2 Па. При этом данные системы дают возможность создавать разные комбинации вакуумных насосов: одноступенчатый пластинчато-роторный насос SOGEVAC SV + двухроторный RUTA WAU, одноступенчатый пластинчато-роторный насос VSV + двухроторный ZJ, двухступенчатый пластинчато-роторный насос TRIVAC D + двухроторный RUTA WH, двухступенчатый пластинчато-роторный насос TRIVAC D + двухроторный НВД, винтовой VARODRY VD + двухроторный НВД.