Анализатор остаточных газов RGA200

Анализатор остаточных газов

Установочный размер фланца

2.75”CF (CF40) при стандартной глубине ионизатора 2” (5см) 4,5”CF(CF63) при заглублении ионизатора на 170мм

Диапазон рабочих температур, ºС

20-70

Электропитание

24В 2,5А по разъему DB9 Опционально встроенный в блок управления блок питания 220В 50Гц (опция 01)

Габаритные размеры, мм

ШВД (79х104х231) без встроенного блока питания

Длина зонда, мм

171

Катоды

двойные иридиевые (заменяемые)

Энергия электронов

70 эВ

Ток эмиссии

1 мА (автоматически регулируемый)

Парциальная чувствительность ионного источника, не хуже

2х10-4 А/Торр (цилиндр Фарадея) для азота

Ионный источник

открытый

Температура отжига

350ºС (без электронной части)

Разрешение

Лучше, чем 0,5 а.е.м. на пике 10% по всему диапазону измеряемых масс

Стабильность измерения масс

±0,1 а.е.м. после 30 мин работы

Детектор

цилиндр Фарадея (FC) и сменный электронный умножитель (ЕМ) Опция 01

Диапазон измеряемых масс, а.е.м.

1-200

Вес, кг

2,23