Главная Средства измерения вакуума Широкодиапазонные вакуумные датчики (Пирани/холодный катод) Датчик вакуумный широкодиапазонный Inficon MPG400, DN 25 KF

Датчик вакуумный широкодиапазонный Inficon MPG400, DN 25 KF - всегда в наличии на складе по доступной цене

Цена по запросу

Быстрый заказ

Артикул: 351-010

Inficon

Датчик вакуумный широкодиапазонный Inficon MPG400, DN 25 KF

К сравнению

На всем диапазоне измерения измеряемый сигнал является логарифмической зависимостью от давления. Датчик состоит из двух отдельных измерительных систем (Пирани и холодного катода) сигналы которых комбинируются таким образом, чтобы на выходе был только один сигнал.

В холодном катоде газ ионизируется путём столкновения с электронами, двигающимися в скрещенных электрических и магнитных полях по спиралевидным траекториям. При высоком напряжении между катодом и анодом все электрически заряженные частицы, находящиеся в остаточном газе, ускоряются и движутся к соответствующему электроду. При этом они сами могут ионизировать другие молекулы, соударяясь с ними, или вызывать образование вторичных электронов. Движущиеся к аноду электроны и устремляющиеся к катоду ионы вызывают процесс газового разряда. Остаточный газ в холодном катоде ионизируется электронами. При низком давлении очень важно, чтобы они как можно дольше оставались в области ионизации. Таким образом, повышается вероятность ионизации и продолжительность газового разряда. Дополнительное внешнее магнитное поле усиливает действие процесса.

Технические характеристики.

Наименование параметра	Значение
Диапазон показаний мбар (Торр)	От 5 х 10^-9 до 1000 (3.75 x 10^-9 ... 750)
Погрешность измерения	30 в диапазоне от 1 х 10^-8 до 100 мбар (в диапазоне от 0,75 х 10^-8 до 75 Торр)
Принцип измерения	Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга
Воспроизводимость, %	5 в диапазоне 1 х 10^-8 ... 100 мбар (в диапазоне 0,75 х 10^-8 ... 75 Торр)
Выходной сигнал (сигнал измерения) диапазон напряжения диапазон измерений Отношения напряжение - давление сигнал ошибки	0 - 10.5 1,82 ... 8,6 Логарифмическая, 0,6 В /1 декада <0,5 В при отключении питания > 9.5 В Датчик Пирани неисправен (обрыв нити)
Питание , В постоянного тока	15 - 30
Электрическое подключение	FCC 68 разъем, 8-ми контактный
Рабочая температура, ° C	От +5 до +55
Температура хранения, ° C	От -40 до +65
Материалы, контактирующие со средой	Нержавеющая сталь, керамика, Mo, Ni, Au, W, Витон
Избыточное давление (абс.), бар	10
Класс защиты от внешних воздействий	IP 40

Основные области применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий
- Аналитические технологии
- Вакуумные печи
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума