Пост высоковакуумный турбомолекулярный откачной TurboHV-250/15
Высоковакуумный откачной пост серии TurboHV представляет из себя передвижную откачную систему, используемую для широкого спектра применений в различных отраслях промышленности, науки и техники для создания и поддерживания высокого вакуума.
Высоковакуумный откачной пост предназначен для откачки воздуха и неагрессивных к материалам конструкции газов из тестовых объемов в диапазоне давлений от атмосферного до предельного остаточного. Высоковакуумный откачной пост имеет возможность подключения гелиевого течеискателя и квадрупольного масс-спектрометра для проверки объемов на герметичность и анализа состава остаточных газов. Откачная система построена на основе двух насосов: турбомолекулярного (NR1) и безмасляного спирального (NL1). В высоковакуумной части откачного поста используются цельнометаллические фланцевые соединения стандарта CF и арматура, выдерживающие прогрев не менее 200оС. Прогрев производится отдельным оборудованием, не входящим в комплект поставки. Тройники и крестовины имеют высоковакуумное исполнение. Откачной пост оснащен источником бесперебойного питания, что позволяет эксплуатировать систему при кратковременных и длительных отключениях электроэнергии.
|
Технические характеристики высоковакуумного откачного поста TurboHV-250/15 |
|
|
Параметр |
Значение |
|
Предельное остаточное давление насоса NR1 на входном фланце насоса DN 100 CF, Па |
5·10-8 |
|
Максимальная быстрота действия насоса NR1 на входном фланце насоса, л/с |
240 |
|
Степень компрессии по азоту |
109 |
|
Входное напряжение |
220±5% В,50Гц |
|
Номинальная быстрота действия форвакуумного насоса NL1, м3/час |
15 |
|
Предельное остаточное давление форвакуумного насоса, NL1, Па |
0,9 |
|
Максимальная потребляемая мощность не более, кВт |
2,8 |
|
Охлаждение насоса NR1 |
Принудительное воздушное |
|
Габаритные размеры ДхШхВ, мм |
1000х500х995 |
|
Масса не более, кг |
100 кг |
|
Температура окружающей среды, °С |
+12...+40 |
|
Влажность окружающей среды |
5…40% при t = 25°С |
|
Уровень шума не более (с закрытым газобалластом), дБ(А) |
55 |
|
Натекание в компоненты вакуумной системы поста, расположенные перед фланцем насоса NR1 в направлении откачки, менее мбар∙л/с |
1∙10-10 |
|
Температура прогрева компонентов вакуумной системы поста, расположенных перед фланцем насоса NR1 в направлении откачки, оС |
200 |
|
Диапазон измерения давления датчиком PAT1, мбар |
5×10-10 … 1000 mbar |
|
Диапазон измерения давления датчиком PT1, мбар |
5×10-4 … 1000 mbar |
Схема вакуумная принципиальная
|
Обозна-чение |
Наименование |
|
NR1 |
Турбомолекулярный вакуумный насос (ТМН) фланец CF100 |
|
NL1 |
Форвакуумный насос спирального типа - Leybold Scrollvac 15 plus |
|
PV1 |
Клапан угловой DN63CF с пневматическим приводом и электромагнитным клапаном управления |
|
PV2 |
Клапан угловой KF25 с пневматическим приводом и электромагнитным клапаном управления |
|
EMV1 |
Электромагнитный клапан напуска (вентиляции) ТМН |
|
PT1 |
Форвакуумный датчик давления Пирани |
|
PAT1 |
Широкодиапазонный датчик давления: Пирани и горячий катод |
|
V1 |
Клапан вакуумный угловой ручной цельнометаллический |
|
V2, V3 |
Клапан вакуумный угловой ручной цельнометаллический |
|
V4 |
Клапан вакуумный угловой ручной |
|
V5 |
Клапан вакуумный угловой ручной |
