Пост высоковакуумный турбомолекулярный откачной TurboHV-300/10 (с криогенной ловушкой)
Посты откачные TurboHV - Руководство по эксплуатации
Высоковакуумный откачной пост серии TurboHV представляет из себя передвижную откачную систему, оснащенную байпасной линией для форвакуумной откачки и быстрой смены откачиваемых объектов без остановки турбомолекулярного насоса. Высоковакуумный откачной пост применяется в различных отраслях промышленности, науки и техники для создания и поддерживания высокого вакуума. Высоковакуумный откачной пост выпускается в нескольких вариантах, отличающихся типом и номинальным диаметром входного фланца, быстротой действия турбомолекулярного насоса, быстротой действия форвакуумного насоса, а также наличием, либо отсутствием дополнительных функций.
Технические характеристики
|
Параметр |
Значение |
|
Наибольшая быстрота действия по азоту, л\с |
260 |
|
Предельное остаточное давление турбомолекулярного насоса, гПа |
1·10-7 |
|
Предельное остаточное давление форвакуумного насоса без газобалласта, Па |
0,7 |
|
Входное напряжение |
220±5% В,50Гц |
|
Скорость откачки форвакуумного насоса при 50 Гц, м3/ч |
12,2 |
|
Габаритные размеры ДхШхВ, мм |
600х640х1450 |
|
Масса не более, кг |
105 |
|
Уровень шума не более, дБ |
60 |
Рис. 1 Схема вакуумная принципиальная
NR1 - Насос турбомолекулярный, NS1 – Безмасляный форвакуумный насос, V1 – высоковакуумный клапан или затвор (в зависимости от комплектации), V2 – форвакуумный клапан, V3 – байпасный клапан, PT1- низковакуумный преобразователь давления, PI1 – широкодиапазонный преобразователь давления
