Пост высоковакуумный турбомолекулярный откачной TurboHV-350/6
Посты откачные TurboHV - Руководство по эксплуатации
Высоковакуумный откачной пост серии TurboHV представляет из себя передвижную откачную систему, оснащенную байпасной линией для форвакуумной откачки и быстрой смены откачиваемых объектов без остановки турбомолекулярного насоса. Высоковакуумный откачной пост применяется в различных отраслях промышленности, науки и техники для создания и поддерживания высокого вакуума. Высоковакуумный откачной пост выпускается в нескольких вариантах, отличающихся типом и номинальным диаметром входного фланца, быстротой действия турбомолекулярного насоса, быстротой действия форвакуумного насоса, а также наличием, либо отсутствием дополнительных функций.
Таблица 1.1 Насос турбомолекулярный, основные тех. характеристики
|
THV.360.0хх |
THV.361.0хх |
Входной фланец |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF |
Выходной фланец |
DN25 ISO-KF |
|
Быстрота действия по азоту (N2), л/с |
290 |
|
Максимально допускаемое давление на выходном фланце насоса для азота (N2), Па |
1000 |
|
Предельное остаточное давление не более, Па |
<8·10-6 |
5·10-9 |
Охлаждение |
Воздушное, с возможность подключения водяного охлаждения |
|
Рабочая частота, об/мин (Гц) |
60000 (1000) |
|
Вес, кг |
7,5 |
11,5 |
Тип смазки подшипников |
Верхний подшипник – магнитный, нижний подшипник – консистентная высоковакуумная смазка |
Таблица 1.2 Пост вакуумный откачной, основные тех. характеристики
Параметр |
Значение |
||||
THV.360.ххх / THV.361.ххх |
|||||
014 |
015 |
016 |
017 |
D30 |
|
Предельное остаточное давление насоса NR1 ISO-K, ISO-F / CF, Па |
8·10-6 / 5·10-8 |
||||
Входное напряжение |
220±5% В,50Гц |
||||
Максимальная быстрота действия форвакуумного насоса , NS1, м3/час |
6,1 |
10,6 |
14,5 |
20 |
31,4 |
Предельное остаточное давление форвакуумного насоса, NS1, Па |
2 |
0,9 |
0,9 |
3 |
0,5 |
Максимальная потребляемая мощность не более, Вт |
1640 |
1760 |
1890 |
2030 |
2030 |
Мощность, потребляемая при предельном остаточном давлении, не более, Вт |
300 |
320 |
390 |
320 |
- |
Мощность, напряжение и ток подключаемого внешнего преобразователя давления (не входит в стандартный комплект поставки), не более |
12 Вт, 24 В, 0,5 А |
||||
Охлаждение насоса NR1 |
Воздушное, с возможностью подключения водяного охлаждения |
||||
Габаритные размеры ДхШхВ, мм |
780 х 640 х 1435 |
780 х 640 х 1435 |
780 х 640 х 1435 |
780 х 640 х 1435 |
780 х 640 х 1435 |
Масса не более, кг |
105 |
105 |
105 |
105 |
120 |
Температура окружающей среды, °С |
+12...+40 |
||||
Влажность окружающей среды |
5…40% при t = 25°С |
||||
Уровень шума не более (с закрытым газобалластом), дБ(А) |
70 |
70 |
70 |
70 |
70 |
Рис. 1 Схема вакуумная принципиальная
NR1 - Насос турбомолекулярный, NS1 – Безмасляный форвакуумный насос, V1 – высоковакуумный клапан или затвор (в зависимости от комплектации), V2 – форвакуумный клапан, V3 – байпасный клапан, PT1- низковакуумный преобразователь давления, PI1 – широкодиапазонный преобразователь давления