Течеискатель PHOENIX Vario
Руководство по эксплуатации PHOENIX Vario
Технические характеристики
-Параметр |
PHOENIX Vario |
Минимальная определяемая течь по гелию Вакуумный режим (мбар*л/с) Режим щупа (мбар*л/с) |
≤5*10-12 ≤1*10-9 |
Минимальная определяемая течь по водороду Вакуумный режим (мбар*л/с) Режим щупа (мбар*л/с) |
≤1*10-8 ≤1*10-7 |
Диапазон уровней течи (мбар*л/с) |
1*10-12 – 1*10-1 |
Макс. давление на входе (измерение) мбар с комплектом разделения потока мбар |
15 1000 |
Скорость форвакуумной откачки 50 Гц (м3/ч) 60 Гц (м3/ч) |
Зависит от выбранного форвакуумного насоса |
Скорость по гелию в вакуумном режиме Режим GROSS (л/с) Режим FINE (л/с) Режим ULTRA (л/с) |
> 3,1 |
Постоянная времени отклика течеискателя (фланец заглушен, 63% от макс. показания) |
< 1 |
Время запуска (с момента включения) |
≤ 110 |
Масс-спектрометр |
С поворотом магнитного поля на 180* |
Ионный источник |
Два итрий/ирридиевых катода |
Входной порт |
ISO-KF 25 |
Габаритные размеры (Д х Ш х В) мм |
486 х 313 х 380 |
Масса |
25 |
Доступные языки |
Английский, Немецкий, Китайский, Японский (Катакана), Корейский, Русский, Французкий, Итальянский, Испанский, Польский |