Турбомолекулярный насос TURBOVAC 1450 i/iX
Поделиться
Руководство по эксплуатации TURBOVAC 1350 i, 1450 i
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 1450 i/iX |
Входной фланец, DN |
250 ISO-K |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1380 1280 1390 1210 |
Рабочая скорость, об./мин |
42 000 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x108 1,0 x108 4 x105 2 x104 |
Предельное давление, мбар |
7,5 x10-9 |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
4 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 2.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
17 12 18 10 |
Масса, кг |
24.4 |
Быстрота откачки (N2), л/с
1380
Быстрота откачки (Ar), л/с
1280
Быстрота откачки (He), л/с
1390
Быстрота откачки (H2), л/с
1210
Предельное остаточное давление, мБар
7,5 x10-9