Турбомолекулярный насос TURBOVAC 250 iX / RS 485 / DN 100 ISO-K
Поделиться
Руководство по эксплуатации TURBOVAC i(X)
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 250 i/iX |
|
Входной фланец, DN |
100 ISO-K |
100 CF |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
225 210 250 210 |
225 210 250 210 |
Рабочая скорость, об./мин |
72 000 |
72 000 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x107 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x107 |
Предельное давление, мбар |
(<8 x10-8) |
(<5 x10-10) |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
14 |
14 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 1.5 |
≈ 1.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
6 3 6 >10 |
6 3 6 >10 |
Масса, кг |
4.5 |
7.1 |
Быстрота откачки (N2), л/с
225
Быстрота откачки (Ar), л/с
210
Быстрота откачки (He), л/с
250
Быстрота откачки (H2), л/с
200
Предельное остаточное давление, мБар
8 x10-8