Турбомолекулярный насос TURBOVAC 350 iX, RS 485; DN 100 ISO-K
Поделиться
Руководство по эксплуатации TURBOVAC i(X)
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 350 i/iX |
|
Входной фланец, DN |
100 ISO-K |
100 ISO-CF |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
290 260 360 350 |
290 260 360 350 |
Рабочая скорость, об./мин |
60 000 |
60 000 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
Предельное давление, мбар |
<10-8 |
<10-10 |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
10 |
10 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
Масса, кг |
7,5 / 8 |
11,5 /12 |
Быстрота откачки (N2), л/с
290
Быстрота откачки (Ar), л/с
260
Быстрота откачки (He), л/с
360
Быстрота откачки (H2), л/с
350
Предельное остаточное давление, мБар
1 x10-8