Турбомолекулярный насос TURBOVAC 450 iX, RS 485; DN 160 ISO-K
Поделиться
Руководство по эксплуатации TURBOVAC i(X)
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 450 i/iX |
|
Входной фланец, DN |
160 ISO-K |
160 CF |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
430 400 440 420 |
430 400 440 420 |
Рабочая скорость, об./мин |
60 000 |
60 000 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
Предельное давление, мбар |
<10-8 |
<10-10 |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
10 |
10 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
Масса, кг |
7.7 / 8.2 |
12.5 / 13 |
Быстрота откачки (N2), л/с
430
Быстрота откачки (Ar), л/с
400
Быстрота откачки (He), л/с
440
Быстрота откачки (H2), л/с
420
Предельное остаточное давление, мБар
1 x10-8