Турбомолекулярный насос TURBOVAC 950 i / DN 200 CF
Поделиться
Руководство по эксплуатации TURBOVAC 850 i, 950 i
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 950 i/iX |
|
Входной фланец, DN |
200 ISO-K |
200 CF |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
900 840 925 770 |
900 840 925 770 |
Рабочая скорость, об./мин |
49 200 |
49 200 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,3 x108 4,4 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,3 x108 4,4 x106 |
Предельное давление, мбар |
3 x10-8 |
3 x 10-10 |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
100 |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
15 |
15 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 2.5 |
≈ 2.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
14 3,5 21,0 15,0 |
14 3,5 21,0 15,0 |
Масса, кг |
15.4 |
21.7 |
Быстрота откачки (N2), л/с
900
Быстрота откачки (Ar), л/с
840
Быстрота откачки (He), л/с
925
Быстрота откачки (H2), л/с
770
Предельное остаточное давление, мБар
3 x10-10