Датчик вакуумный широкодиапазонный Combi Transmitter PTR 90, DN 25 KF
На всем диапазоне измерения измеряемый сигнал является логарифмической зависимостью от давления. Датчик состоит из двух отдельных измерительных систем (Пирани и холодного катода) сигналы которых комбинируются таким образом, чтобы на выходе был только один сигнал.
В холодном катоде газ ионизируется путём столкновения с электронами, двигающимися в скрещенных электрических и магнитных полях по спиралевидным траекториям. При высоком напряжении между катодом и анодом все электрически заряженные частицы, находящиеся в остаточном газе, ускоряются и движутся к соответствующему электроду. При этом они сами могут ионизировать другие молекулы, соударяясь с ними, или вызывать образование вторичных электронов. Движущиеся к аноду электроны и устремляющиеся к катоду ионы вызывают процесс газового разряда. Остаточный газ в холодном катоде ионизируется электронами. При низком давлении очень важно, чтобы они как можно дольше оставались в области ионизации. Таким образом, повышается вероятность ионизации и продолжительность газового разряда. Дополнительное внешнее магнитное поле усиливает действие процесса.
Технические характеристики.
Наименование параметра |
Значение |
Диапазон показаний мбар (Торр) |
От 5 х 10-9 до 1000 (3.75 x 10-9 ... 750) |
Погрешность измерения
|
30 в диапазоне от 1 х 10-8 до 100 мбар |
Принцип измерения |
Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга |
Воспроизводимость, % |
5 в диапазоне 1 х 10-8 ... 100 мбар |
Выходной сигнал (сигнал измерения) |
0 - 10.5 |
Питание , В постоянного тока |
15 - 30 |
Электрическое подключение |
FCC 68 разъем, 8-ми контактный |
Рабочая температура, ° C |
От +5 до +55 |
Температура хранения, ° C |
От -40 до +65 |
Материалы, контактирующие со средой |
Нержавеющая сталь, керамика, Mo, Ni, Au, W, Витон |
Избыточное давление (абс.), бар |
10 |
Класс защиты от внешних воздействий |
IP 40 |
Основные области применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий
- Аналитические технологии
- Вакуумные печи
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума