Турбомолекулярный вакуумный насос FF-63/80E

Скорость откачки, л/с

N2：62
He：55
H2：34
Ar：65

Коэффициент сжатия

N2：≥1×10⁹
He：≥1×10⁵
H2：≥1×10⁴
Ar：≥1×10⁹

Предельный вакуум, Па

≤3×10^-5（ISO-K）

Максимальная газовая нагрузка, ст. см3

N2：35
He：30
H2：19
Ar：38

Выходное соединение

KF16

Входное соединение

ISO-K63
CF63

Подшипники

Керамические шариковые, консистентная смазка

Скорость вращения, об/мин.

72000

Время запуска, мин.

≤2

Рекомендованное стартовое давление, Па

<10

Максимальное давление запуска, Па

N2：1500

Максимальное форвакуумное давление, Па

<500

Монтажное положение

Любое

Температура отжига, ℃

≤100

Охлаждение

Воздушное（5-32℃）
Водяное（5-40℃）

Охлаждающая вода

Температура：10-25℃
Давление：0.15МПа
Поток：>1 л/мин.

Максимальная мощность, Вт

90

Вес, кг

2,6 (ISO-K)
3,5 (CF)

Комплект поставки

Блок управления;
Кабель питания;
Кабель управления;
Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF); -Руководство пользователя на русском языке;
Гарантийный талон.