Турбомолекулярный насос TURBOVAC 90 i / DN 63 CF
Руководство по эксплуатации TURBOVAC i(X)
Технические характеристики
Наименование параметра |
Turbovac 90 i/iX |
|
Входной фланец, DN |
63 ISO-K |
63 ISO-CF |
Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
90 83 90 78 |
90 83 90 78 |
Рабочая скорость, об./мин |
72 000 |
72 000 |
Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x107 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x107 |
Предельное давление, мбар |
(<8 x10-8) |
(<5 x10-10) |
Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар |
14 |
14 |
Время выхода на режим, мин |
≈ 1.5 |
≈ 1.5 |
Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
10 3 11 11 |
10 3 11 11 |
Масса, кг |
3.6 |
5.3 |
Серия TURBOVAC i / iX представляет из себя модульную линейку турбомолекулярных вакуумных насосов со встроенной приводной электроникой (преобразователем частоты) и все это в совокупности образует единый блок. При разработке TURBOVACi / iX особое внимание уделялось максимально достижимой производительности насоса с учетом его занимаемой площади. Специально разработанная конструкция ротора / статора гарантирует отличные рабочие характеристики в отношении скорости откачки, расхода газа и сжатия, в том числе для легких газов. Во всех насосах этой линии подвес состоит из износостойкого подшипника с постоянным магнитом на стороне высокого вакуума и безмасляного керамического шарикоподшипника со смазкой на весь срок службы на стороне форвакуума. По этой причине отпадает необходимость в стандартном техническом обслуживании, включающем замену масла. При необходимости керамический шарикоподшипник можно заменить на месте.